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1 件中、 1 件目
原子間力顕微鏡のすべて
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森田清三/著 -- 工業調査会 -- 199503 -- 54997
SDI
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所蔵は
1
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
鳥取県立
書庫
549.9/モリタ/一般H
112485605
一般
利用可
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資料詳細
タイトル
原子間力顕微鏡のすべて
書名ヨミ
ゲンシカンリヨク ケンビキヨウ ノ スベテ / ゲンシ ヤ ブンシ オ ミテ ウゴカス
副書名
原子や分子を見て動かす
シリーズ名
K books series 108
著者名
森田清三
/著
著者ヨミ
モリタ,セイゾウ
出版者
工業調査会
出版年
199503
ページ数等
178p
大きさ
19㎝
内容細目
各章末:参考文献
一般件名
電子顕微鏡
ISBN
4-7693-1138-9
問合わせ番号(書誌番号)
1100174244
NDC8版
54997
内容紹介
AFMは、酸化した金属や半導体表面の測定はもちろん、絶縁体の表面すら高分解能で観測が可能なので、空気中での材料物性評価や微小寸法計測やプロセス加工評価やデバイス評価などの、「エンジニアリング・ツール」として、急速に普及してきた。しかしながら、エンジニアリング・ツールとして発展してきたAFMには、多くの未解明の疑問を残していた。本書では、疑問点の解明に関連するAFMの最近の新しい展開について紹介する。
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内容一覧
タイトル
著者名
ページ
第1章 “小さいてこ”を走査する原子間力顕微鏡(AFM)
第2章 “小さいてこ”を接触させて見る
第3章 “小さいてこ”を非接触にして見る
第4章 “小さいてこ”で原子や分子を動かす
第5章 AFMとは?
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