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ナノテクノロジー・表面分析の科学 利用可

小宮宗治／〔ほか〕著 -- 講談社 -- 199212 -- 4284

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 428.4/ｺﾐﾔ/一般Ｈ 111795871 一般 利用可

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タイトル ナノテクノロジー・表面分析の科学
書名ヨミ ナノテクノロジ－　ヒヨウメン　ブンセキ　ノ　カガク　／　ゲンシ　ブンシ　スケ－ル　デ　ヒヨウメン　オ　ミル
副書名 原子・分子スケールで表面を見る
シリーズ名 ブルーバックス　Ｂ‐９４８
著者名 小宮宗治 ／〔ほか〕著  
著者ヨミ コミヤ，ソウジ  
出版者 講談社  
出版年 199212
ページ数等 ３２０ｐ
大きさ １８㎝
内容細目 関連図書紹介：ｐ３２０
一般件名 表面（工学）  
ISBN 4-06-132948-0
問合わせ番号（書誌番号） 1100094149
NDC8版 4284
内容紹介 今日の半導体産業の超ＬＳＩ素子では、１ミリメートルの１万分の１単位の大きさのチリが、２０センチメートル程度のシリコン基盤の上に１個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を１つ１つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　序にかえて―ナノテクノロジーの世界へ
第２章　微小領域の表面世界をさぐるオージェ電子分光法
第３章　商品開発の名アシスタント・ＥＳＣＡ
第４章　極微量の不純物を分析するＳＩＭＳ
第５章　表面分析装置のもっとも効果的な使い方
第６章　最新ナノテクノロジー表面分析器

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